半导体洁净车间建设百级洁净室安装FFU施工工艺设计要求及流程

百级洁净室的空气洁净度为100个颗粒/立方英尺，也就是空气中直径大于0.5微米的颗粒数不超过100个。百级洁净是通常用于半导体医疗、制药、食品加工等领域的洁净车间，要求空气中的微粒含量也比较低，以保证半导体等产品质量。下面浅谈一下半导体洁净车间建设百级洁净室安装FFU施工工艺设计要求及流程。

半导体洁净车间洁净室房间的围护结构一般由金属墙板制成，一般建成后，布局不能随意改变，但由于工艺的不断更新，原有的洁净车间洁净度布局无法满足新工艺的需要，导致洁净室洁净车间因产品更换需要频繁更换，浪费了大量的财力物力。

半导体洁净车间洁净室施工可通过增加或减少FFU净化单元的数量，可以局部调整房间的清洁布局，以满足过程的变化，FFU净化单元有自己的动力，风口和灯具可以节省大量的投资，这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能的。

一、半导体洁净车间百级洁净室采用FFU风机过滤单元设计方案。

半导体洁净车间百级区天花板上覆盖着FFU风机净化单元。清洁空气从百级区侧墙下部的高架地板或进入垂直风管，通过垂直风管进入静压箱，通过ffu风机净化单元进入室内，达到循环效果。

半导体洁净车间百级区上部ffu风机净化单元垂直送风，百级区ffu风机净化单元与吊架之间的泄漏对百级区洁净度影响较小。

ffu风机净化单元重量轻，采用罩入式安装方式，使安装，更换，维修更加方便。

缩短施工工期，ffu风机过滤单元系统节能显著，解决了空调机房巨大，空调机组运行成本增加的缺点，ffu独立的结构特点可以随时调整，弥补洁净室机动性不足，解决了生产过程不适合调整的缺点。

半导体洁净车间洁净室ffu循环系统的使用不仅节省了运行空间，清洁安全性高，运行成本低，操作灵活性高，系统可以在不影响生产的情况下随时升级调整，可以很好地满足半导体洁净车间洁净室的需求，因此，在半导体等制造业中使用ffu循环系统逐渐成为主要的清洁设计方案。

二、半导体洁净车间百级洁净室FFU过滤器安装流程

1、从运输包装箱中小心地取出高效过滤器，查看在运输过程中是否有任何部件损坏。取下塑料包装袋，将FFU和高效过滤器放置在清洁的房间内。

2、把FFU及高效过滤器安装在吊顶龙骨上。至少2人在待安装FFU的吊顶天花上准备，人运送FFU箱体至安装位置龙骨下，由另外在梯子上的2人托起箱体，箱体与天花呈45度，穿过天花。吊顶天花上的2人应手握FFU把手，接过FFU箱体平放于旁边的吊顶天花上等候盖上过滤器。

3、梯子上2人接过搬运人员递过来的高效过滤器，双手握住高效过滤器边框，与天花呈45度，穿过天花，过程轻拿轻放，禁止触碰过滤器表面。吊顶天花2人接过高效过滤器，对齐龙骨四边平行放下，注意过滤器风向，出风面应朝下。

4、把FFU箱体对齐过滤器四周放下，过程轻拿轻放，注意不能让箱体边缘触碰过滤器，根据厂家提供电路图和买方的电气规章，使用电缆将风机单元连接到适当电压的电源上。

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